서울과학기술대학교 공동실험실습관
>보유기기>
Field Emission Scanning Electron Microscope
전계방사형주사전자현미경
  • 호실
    206
  • 제조사(모델)
    JEOL Ltd. (JSM-6700F)
  • 담당자
    김보경
  • 이메일
    bk0330@seoultech.ac.kr
  • 연락처
    02-970-7256
예약/신청하기
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신청가능 시간    2024-10-18 까지의 사용 예정건만 예약 가능
10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 X X
점심시간 이용불가 : 12:00 ~ 13:00

<<<<<<예약 전 안내사항>>>>>>

 

**EDS 점검 중


* 분석의뢰일 경우 담당자일정(타기기분석, 행정업무, 회의 등)과 중복시 취소 처리됩니다.

-선택하신 장비일정이 비어있더라도 담당자일정을 클릭하여 일정확인바랍니다.


* 14일(2주)동안의 예약만 가능합니다.

-대기기간이 길수록 노쇼로 이어질 확률이 높습니다. 구체적인 일정이 정해지면 예약해주시길 바랍니다.


* 장비의 원활한 활용을 위해 연구실 당 일주일 예약시간한도를 4시간 이내로 권장합니다.


* 예약 후 예고없는 취소는 장비이용자에게 피해를 줍니다. 필요한 예약만 진행해 주시길 바랍니다.

 

* 분석중에는 전화연결이 어렵습니다. 이메일(bk0330@seoultech.ac.kr)로 연락주시면 회신드리겠습니다.

원리 및 특성
규격

(FE-SEM)
-Accelerating Voltage : 0.5 ~ 30kV
-Magnification : 25 ~ 100,000
-Resolution : 1.0㎚(15kV), 2.2㎚(1kV)
-Image : SEI, BEI
(EDS)
-Detectable element : B(5) ~ U(92)
-Detection range : 120eV ~ 20keV
-Resolution : 139eV

적용(응용)분야

-용도설명 : 고진공중에서 금속표면에 강한 양전위를 걸어 주어 전자를 표면으로부터 떼어내는 방식으로 열전자에 비해 전류밀도가 매우 높기 때문에 고휘도의 전자빔을 얻을 수 있다. 따라서 일반 주사 현미경보다 고분해능,고배율로 분석이 가능하고, 에너지분산분석기(EDS)를 부착하여 시료의 전체적인 정성, 정량분석 및 구성원소의 분포확인이 가능하다.
-응용분야 : SEM 본체에 EDS를 부착하여시료의 전체적인 성분분석 가능
나노 수준의 미세구조 관찰
표면구조의 고해상도/고배율 관찰
금속, 무기재료, 반도체, 섬유, 세라믹, 고분자 물질 등 광범위 시료의 미세 조직 관찰
에너지분산분석기(EDS)를 이용한 시료의 정성, 정량분석 및 구성원소의 분포 확인 등

사용료

표시되지 않은 시료전처리, 재료비 및 분석결과의 특별한 해석을 의뢰할 경우에 별도로 요금을 산정함

구분 항목 단위 교외교내가족회사(골드)가족회사(실버)가족회사(브론즈) 비고
분석의뢰
기기사용료 30분 30,00015,0009,00015,00021,000
전처리(Coating) 15,00015,00015,00015,00015,000
EDS 5,0005,0005,0005,0005,000
기기사용료(1시간) 시간 60,00030,00018,00030,00042,000
직접사용
기기사용료 30분 30,00015,0009,00015,00021,000
전처리(Coating) 15,00015,00015,00015,00015,000
추가사용(30분) 30,00015,00015,00015,00015,000
기기사용료(1시간) 시간 60,00030,00018,00030,00042,000


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