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당일 예약 불가합니다! 최소 3일전 예약 부탁드립니다. ► 엘립소미터 - 장비 이용 신청 후 담당자의 장비측정 일정에 따라 측정 일정이 변경될 수 있습니다. 신청 후 메일로 안내 부탁드립니다. -시료사이즈 15cm이내, 높이는 웨이퍼외 증착물질 높이 40~50nm정도 -스텝형태, 굴곡지게 증착된 시료는 측정 불가 -> 알파스텝 이용가능 (단차측정기) -원하는 앵글값이 있으시면 메모남겨주세요. - (기본 실리콘웨이퍼 70도) -필요하신 데이터값 알려주세요 : delta, psi, 굴절률, 두께값 -측정파장 알려주세요. -가능하시면 베이스웨이퍼(기판)도 같이 동봉해주세요.
접촉식단차측정기(알파스텝) 신청 시 신청조건에 알파스텝사용이라고 명시해주세요. 탑침고장 발생가능 시료는 측정 불가 : 점성, 겔타입 등 시료의 높이는 1.5cm이하로 부탁드립니다. |
► 엘립소미터와 알파스텝 중 어떤 장비를 사용하시는지 신청의뢰 시 작성하여 주세요!
#엘립소미터는 입사되는 광원이 시료의 박막에 의해 Psi/delta만큼의 변화를 얻고 이를 다양한 Modeling parameter에 적용하여 원하는 시료의 광학 상수와 미세 두께를 측정하는 장비
#알파스텝은 Wafer 표면 위에 단차가 있는 박막의 두께 (수 Å이상) 및 Step Profile을 측정하기 위하여 장비에 달린 탐침이 Wafer 표면을 긁고 지나감으로써 표면 단자의 변화로 발생하는 압력을 감지하여 그 단차의 두께를 측정하는 장비
단차측정만 가능합니다!
► 엘립소미터
측정범위 : 190 nm ~ 2100nm
기본측정앵글
- 실리콘 웨이퍼 : 70도
- 글라스 웨이퍼 : 60도
- 측정가능 앵글 : 45-75도
빔 사이즈 : 2mm
► 알파스텝
- L-Stylus 탐침 : 5micro, 60 degree
- Stage : 140mm (X축 : 80mm, Y축 : 20mm 이동가능)
- 측정 범위 : Y축으로 최대 30mm
- 시료 높이 : 150mm이하
표시되지 않은 시료전처리, 재료비 및 분석결과의 특별한 해석을 의뢰할 경우에 별도로 요금을 산정함
| 구분 | 항목 | 단위 | 교외 | 교내 | 가족회사(골드) | 가족회사(실버) | 가족회사(브론즈) | 비고 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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분석의뢰 |
기본료 | - | 20,000 | 20,000 | 20,000 | 20,000 | 20,000 | |
| 분석료 | 시료 | 80,000 | 40,000 | 24,000 | 40,000 | 56,000 | ||
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직접사용 |
접촉식단차측정기:직접사용_교내적용 | 30분 | 5,000 | |||||
| 접촉식단차측정기:직접사용_교내적용 | 시간 | 10,000 | ||||||
| 기본료 | - | 20,000 | 20,000 | |||||
| 엘립소미터:직접사용_교내적용 | 시간 | 40,000 | ||||||
| 엘립소미터:직접사용_교내적용 | 30분 | 20,000 |
엘립소미터_UVISEL.pdf D-300_Brochure.pdf
