2024-11-03 까지의 사용 예정건만 예약 가능
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| 10:00 - 18:00 | 10:00 - 18:00 | 10:00 - 18:00 | 10:00 - 18:00 | 10:00 - 18:00 | X | X |
점심시간 이용불가 : 12:00 ~ 14:00
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<<<<<<예약 전 안내사항>>>>>>
-선택하신 장비일정이 비어있더라도 담당자일정을 클릭하여 일정확인바랍니다.
-대기기간이 길수록 노쇼로 이어질 확률이 높습니다. 구체적인 일정이 정해지면 예약해주시길 바랍니다.
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장비의 전자빔을 이용하여 시료 표면에서 검출되는 이차전자로 나노수준의 미세조직 및 구조를 관찰하고,
미세입자의 크기 및 형태 등을 분석하며, 표면의 거칠기도 이미지로 관찰할수있다. 또한 에너지분산분석기(EDS)를 부착하여 시료의 정성,정량 분석과 구성원소의 분포 확인 등을 할 수 있는 장비로써 이공계분야에 필수적이다.
금속, 무기재료, 반도체, 세라믹, 고분자, 생물 등 광범위하게 활용되어 대학 학부과정의 실험,실습교육과 졸업연구, 캡스톤디자인, 대학원생의 논문연구 및 교수의 R & D는 물론이고 산업체의 고장분석, 연구개발에도 공동으로 활용할 수 있다.
1. 이미지 분해능
- 2nm @ 30kV, 6nm @ 3kV, 9nm @ 1kV
2. 배율 : 7x ~ 1,000,000x
3. Electron optics
1) Electron gun type : LaB6
2) 가속전압 : 0.2 ~ 30kV
3) 탐침 전류 : 0.5pA ~ 5㎂
4) 검출기
- 고감도이차전자검출기 : 콜렉터 바이어스 –250V ~ +400V
- 4분할 후방산란검출기 : 1kV, 16mm다이오드
4. 챔버 및 스테이지
1) 챔버
- 내경 : 310㎜(내경) × 220㎜(높이)
- 포트 : 챔버 및 도어 포트는 총8개
2) 스테이지
- 5축 전동 스테이지
- X=80mm, Y=100mm, Z=35mm, T=-10°~90°
본 장비가 분석가능한 시료로서는 금속, 입자, 무기재료, 반도체, 세라믹, 고분자, 생물 등이 있으며 박막두께측정, 분말입자 사이즈 측정, 금속결정입자확인, 시표표면의 거칠기확인 등 광범위하게 활용된다. 또한 부착된 에너지분산분석기(EDS)를 이용하여 샘플 내에 존재하는 성분의 정성,정량분석과 해당영역의 성분분포도를 확인할수 있다.
따라서 대학 학부과정의 실험,실습교육과 졸업연구, 캡스톤디자인, 대학원생의 논문연구 및 교수의 R & D는 물론이고 산업체의 고장분석, 연구개발에도 공동으로 활용할 수 있다.
표시되지 않은 시료전처리, 재료비 및 분석결과의 특별한 해석을 의뢰할 경우에 별도로 요금을 산정함
| 구분 | 항목 | 단위 | 교외 | 교내 | 가족회사(골드) | 가족회사(실버) | 가족회사(브론즈) | 비고 |
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분석의뢰 |
기기사용료 | 30분 | 30,000 | 15,000 | 9,000 | 15,000 | 21,000 | |
| 전처리(Coating) | 회 | 15,000 | 15,000 | 15,000 | 15,000 | 15,000 | ||
| EDS | 회 | 5,000 | 5,000 | 5,000 | 5,000 | 5,000 | ||
| 기기사용료(1시간) | 시간 | 60,000 | 30,000 | 18,000 | 30,000 | 42,000 | ||
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직접사용 |
기기사용료 | 30분 | 30,000 | 15,000 | 9,000 | 15,000 | 21,000 | |
| EDS | 회 | 5,000 | 5,000 | 5,000 | 5,000 | 5,000 | ||
| 전처리(Coating) | 회 | 15,000 | 15,000 | 15,000 | 15,000 | 15,000 | ||
| 기기사용료(1시간) | 시간 | 60,000 | 30,000 | 18,000 | 30,000 | 42,000 |
