서울과학기술대학교 공동실험실습관
>보유기기>
High Resolution Field Emission Scanning Electron Microscope
고분해능주사전자현미경
  • 호실
    206
  • 제조사(모델)
    Hitachi High Technologies Corporation (SU8010)
  • 담당자
    김보경
  • 이메일
    bk0330@seoultech.ac.kr
  • 연락처
    02-970-7256
예약/신청하기
즐겨찾는기기 추가
신청가능 시간    2024-10-18 까지의 사용 예정건만 예약 가능
10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 X X
점심시간 이용불가 : 12:00 ~ 14:00

<<<<<<예약 전 안내사항>>>>>>


* 분석의뢰일 경우 담당자일정(타기기분석, 행정업무, 회의 등)과 중복시 취소 처리됩니다.

-선택하신 장비일정이 비어있더라도 담당자일정을 클릭하여 일정확인바랍니다.


* 14일(2주)동안의 예약만 가능합니다.

-대기기간이 길수록 노쇼로 이어질 확률이 높습니다. 구체적인 일정이 정해지면 예약해주시길 바랍니다.


* 장비의 원활한 활용을 위해 연구실 당 일주일 예약시간한도를 4시간 이내로 권장합니다.


* 예약 후 예고없는 취소는 장비이용자에게 피해를 줍니다. 필요한 예약만 진행해 주시길 바랍니다.

 

* 분석중에는 전화연결이 어렵습니다. 이메일(bk0330@seoultech.ac.kr)로 연락주시면 회신드리겠습니다.

원리 및 특성

전자총(Electron gun)에 전압을 걸어 방출된 전자빔이 경통(Column) 내부의 여러 경로를 통해 시료의 관찰영역에 주사될 때 입사전자와 시료를 구성하고 있는 원자와의 상호작용에 의해 발생되는 여러 가지 신호 중 이차전자(Secondary electron) 혹은 후방산란전자(Back scattered electron)를 검출하여 시료의 표면을 관찰·분석하고, Energy Dispersive X-ray Spectrometer(EDS)를 이용하여 시료의 정성·정량 분석 및 화상분석(면, 선, 점 분석 및 화합물 분석)을 할 수 있다.

규격

· Electron gun : Cold cathode field emission source
· SEI Resolution
- 1.0㎚(Vacc 15㎸, WD=4㎜)
- 1.3㎚(landing voltage 1㎸, WD=1.5㎜)
· Magnification
- Low mag mode : 20~2,000×(Magnification on Photo)
- High mag mode : 100~800,000×(Magnification on Photo)
· Accelerating voltage : 0.5㎸ to 30㎸(standard mode)
· Landing voltage : 0.1㎸ to 2.0㎸(Deceleration mode)
· Traverse range : X=0~50㎜, Y=0~50㎜, Z=1.5~30㎜, R=360°, T=-5~70°
· Max. sample size : 100㎜ dia.
· Energy Dispersive X-ray Spectrometer(EDS)
- Detector type : SDD(Silicon Drift Diode) 30㎟ active area
- Peak resolution : 127eV @ Mn standard
- Detectable elements : Be(4)~U(92)

적용(응용)분야

나노수준의 미세조직 및 구조를 관찰하고, 미세입자의 크기 및 형태 등을 분석하며, Energy Dispersive X-ray Spectrometer(EDS)를 이용하여 시료의 정성·정량 분석 및 화상분석(면, 선, 점 분석 및 화합물 분석)을 할 수 있는 장비로써 이공계분야에 필수적이며, 금속, 무기재료, 반도체, 세라믹, 고분자, 생물 등 광범위한 분야에 활용된다.

사용료

표시되지 않은 시료전처리, 재료비 및 분석결과의 특별한 해석을 의뢰할 경우에 별도로 요금을 산정함

구분 항목 단위 교외교내가족회사(골드)가족회사(실버)가족회사(브론즈) 비고
분석의뢰
기기사용료 30분 70,00035,00021,00035,00049,000
전처리(Coating) 15,00015,00015,00015,00015,000
EDS 5,0005,0005,0005,0005,000
기기사용료(1시간) 시간 140,00070,00042,00070,00098,000
직접사용
기기사용료 30분 70,00035,00021,00035,00049,000
전처리(Coating) 15,00015,00015,00015,00015,000
EDS 5,0005,0005,0005,0005,000
기기사용료(1시간) 시간 140,00070,00042,00070,00098,000


관련자료


서울특별시 노원구 공릉로 232 서울과학기술대학교 혜성관(공동실험실습관)
전화번호 : 02-970-7231~33 통신판매번호 : 2013-서울노원-0109
상호 : 서울과학기술대학교 | 사업자등록증번호 : 217-83-00732 | 대표 : 김동환
Copyright (c) SEOUL NATIONAL UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY. All Rights Reserved.
관련사이트