(Mechanical)
- Sample size : Up to 100x100mm , 20mm thick
- Sample stage traval : 25 x 25 mm
(X-Y scanner)
- Scan size : 50 x 50 ㎛
- Resolution : < 0.15 nm
(Z-scanner)
- Scan size : 12 ㎛
- Resolution : 0.05nm
(Z-stage)
- Traval : 30nm
- Resolution : 0.08㎛
- 용도설명 : 미세한 시료 표면의 형상, 단차, 거칠기 등 측정
- 응용분야 : 반도체의 표면 계측, 화학 및 고분자, 재료공학, 기타 표면분석 등
- 활용예시 : 미세한 시료의 표면을 3D로 관찰하고, 높이를 측정할 수 있음
표시되지 않은 시료전처리, 재료비 및 분석결과의 특별한 해석을 의뢰할 경우에 별도로 요금을 산정함
| 구분 | 항목 | 단위 | 교외 | 교내 | 가족회사(골드) | 가족회사(실버) | 가족회사(브론즈) | 비고 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
분석의뢰 |
기기사용료 | 시간 | 40,000 | 20,000 | 12,000 | 20,000 | 32,000 |
