서울과학기술대학교 공동실험실습관
>보유기기>
Field Emission Scanning Electron Microscope
전계방사형주사전자현미경
  • 호실
    206
  • 제조사(모델)
    JEOL Ltd. (JSM-6700F)
  • 담당자
    김보경
  • 이메일
    bk0330@seoultech.ac.kr
  • 연락처
    02-970-7256
예약/신청하기
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신청가능 시간    2023-04-10 까지의 사용 예정건만 예약 가능
10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 X X
점심시간 이용불가 : 12:00 ~ 13:30

<<<<<<예약 전 안내사항>>>>>>


* 분석의뢰일 경우 담당자일정(타기기분석, 행정업무, 회의 등)과 중복시 취소 처리됩니다.

-선택하신 장비일정이 비어있더라도 담당자일정을 클릭하여 일정확인바랍니다.


* 14일(2주)동안의 예약만 가능합니다.

-대기기간이 길수록 노쇼로 이어질 확률이 높습니다. 구체적인 일정이 정해지면 예약해주시길 바랍니다.


* 장비의 원활한 활용을 위해 연구실 당 일주일 예약시간한도를 4시간 이내로 권장합니다.


* 예약 후 예고없는 취소는 장비이용자에게 피해를 줍니다. 필요한 예약만 진행해 주시길 바랍니다.

원리 및 특성
규격

(FE-SEM)
-Accelerating Voltage : 0.5 ~ 30kV
-Magnification : 25 ~ 650,000
-Resolution : 1.0㎚(15kV), 2.2㎚(1kV)
-Image : SEI, BEI
(EDS)
-Detectable element : B(5) ~ U(92)
-Detection range : 120eV ~ 20keV
-Resolution : 139eV

적용(응용)분야

-용도설명 : 고진공중에서 금속표면에 강한 양전위를 걸어 주어 전자를 표면으로부터 떼어내는 방식으로 열전자에 비해 전류밀도가 매우 높기 때문에 고휘도의 전자빔을 얻을 수 있다. 따라서 일반 주사 현미경보다 고분해능,고배율로 분석이 가능하고, 에너지분산분석기(EDS)를 부착하여 시료의 전체적인 정성, 정량분석 및 구성원소의 분포확인이 가능하다.
-응용분야 : SEM 본체에 EDS를 부착하여시료의 전체적인 성분분석 가능
나노 수준의 미세구조 관찰
표면구조의 고해상도/고배율 관찰
금속, 무기재료, 반도체, 섬유, 세라믹, 고분자 물질 등 광범위 시료의 미세 조직 관찰
에너지분산분석기(EDS)를 이용한 시료의 정성, 정량분석 및 구성원소의 분포 확인 등

사용료

표시되지 않은 시료전처리, 재료비 및 분석결과의 특별한 해석을 의뢰할 경우에 별도로 요금을 산정함

구분 항목 단위 교외교내가족회사(골드)가족회사(실버)가족회사(브론즈) 비고
분석의뢰
기기사용료 시간 60,00030,00018,00030,00042,000
전처리(Coating) 15,00015,00015,00015,00015,000
EDS 시료 5,0005,0005,0005,0005,000
직접사용
기기사용료 시간 60,00030,00018,00030,00042,000
전처리(Coating) 15,00015,00015,00015,00015,000
추가사용(30분) 30,00015,00015,00015,00015,000


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