서울과학기술대학교 공동실험실습관
>보유기기>
X-ray Photoelectron Spectrometer
엑스선 광전자 분광기
  • 호실
    104
  • 제조사(모델)
    Thermo Fisher Scientific Brno s.r.o (Nexsa)
  • 담당자
    김형국
  • 이메일
    hgkim@seoultech.ac.kr
  • 연락처
    02-970-7236
예약/신청하기
즐겨찾는기기 추가

• 시료 조건 안내

1. 기본 사항
  1) 진공 상태에서 분석하는 장비. 모든 시료는 반드시 건조된 상태로 밀봉해서 측정 요청해주세요.(용매를 사용한 시료는 반드시 진공오븐에서 건조)
  2) 표면을 분석하는 장비로, 표면이 오염 없이 깨끗해야 좋은 결과를 얻을 수 있습니다. (밀봉 비닐 봉투에 시료를 넣지 마세요. PDMS와 같은 윤활제가 데이터에 영향을 줍니다.)
  3) 분석 의뢰서에 분석 원소를 기입해 주세요.
  4) 진공 잡는데 기본 2시간이 소요됩니다. 최소 4시간 이상 예약 잡아주세요.

2. 시료 타입
  1) 고형시료: 이상적인 크기 10㎜X10㎜, 높이 1㎜ 미만
  2) 가루 형태: Pellet 또는 박막 형태로 준비

원리 및 특성

진공 챔버 안의 시료에 Alumium X-rays(Energy 1486eV)를 조사, 이때 방출하는 광전자 에너지를 측정해 시료표면의 성분 및 화학적 결합상태 정보를 얻을 수 있다.

규격

1. X-ray Source: Micro focused monochromator(10~400㎛ X-ray spot size), low power Al Ka X-ray source(75W max)
2. Electron analyzer: 3meV energy step size, ≤10㎛ spatial resolution, 1~400eV pass energy, 128-channel plate detector
3. Vacuum system: ≤5X10-9mbar
4. Depth profiling: Monatomic(Ar+), Cluster(Ar+n)
5. UV Photoelectron Spectroscopy(UPS), Angle Resolved XPS(ARXPS), 360° Rotation holder, Ion flood source for neutralisation

적용(응용)분야

1. XPS: ~10㎚의 표면에 존재하는 H, He을 제외한 원소의 종류와 상대적 조성비, 화학결합상태 분석
2. Depth profile: Ar+ 이용하여 표면을 파괴하며 XPS 분석
3. Angle Resolved XPS(ARXPS): 홀더를 기울이며 분석하는 방법으로, 시료(multi layer)에 손상 없이 ~10㎚ 깊이의 XPS 정보 획득
4. UV Photoelectron Spectroscopy(UPS): 시료 표면(2~3㎚ 영역)의 일함수(Work function) 측정
상기의 기능을 선택적으로 활용하여 전자재료, 금속재료, 반도체, 고분자 등의 표면, layer 분석에 응용

사용료

표시되지 않은 시료전처리, 재료비 및 분석결과의 특별한 해석을 의뢰할 경우에 별도로 요금을 산정함

구분 항목 단위 교외교내가족회사(골드)가족회사(실버)가족회사(브론즈) 비고
분석의뢰
표면분석 (원소5개) 시료 120,00060,00036,00060,00084,000
표면분석 원소 추가, Etch, 시간(2시간초과) 시료, 시간 20,00010,0006,00010,00014,000
Depth profile(원소3개) 시료 120,00060,00036,00060,00084,000
Depth profile 분석 원소 추가 원소 40,00020,00012,00020,00028,000
Depth profile 시간 120,00060,00036,00060,00084,000
분석 위치 추가 point 60,00030,00018,00030,00042,000


관련자료


서울특별시 노원구 공릉로 232 서울과학기술대학교 혜성관(공동실험실습관)
전화번호 : 02-970-7235(7231~7233) 통신판매번호 : 2013-서울노원-0109
상호 : 서울과학기술대학교 | 사업자등록증번호 : 217-83-00732 | 대표 : 이동훈
Copyright (c) SEOUL NATIONAL UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY. All Rights Reserved.
관련사이트