서울과학기술대학교 공동실험실습관
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Electron BackScatter Diffraction
후방산란회절분석기
  • 호실
    206
  • 제조사(모델)
    OXFORD Instruments (AZtecHKL)
  • 담당자
    김보경
  • 이메일
    bk0330@seoultech.ac.kr
  • 연락처
    02-970-7256
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신청가능 시간    2023-04-10 까지의 사용 예정건만 예약 가능
10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 X X

<<<<<<예약 전 안내사항>>>>>>

 

* 주사전자현미경2(ZEISS EVO10)에 부착된 장비입니다.

-주사전자현미경2의 일정이 비어있는지 확인 후 예약바랍니다.

 

* 분석의뢰일 경우 담당자일정(타기기분석, 행정업무, 회의 등)과 중복시 취소 처리됩니다.

-선택하신 장비일정이 비어있더라도 담당자일정을 클릭하여 일정확인바랍니다.


* 14일(2주)동안의 예약만 가능합니다.

-대기기간이 길수록 노쇼로 이어질 확률이 높습니다. 구체적인 일정이 정해지면 예약해주시길 바랍니다.


* 장비의 원활한 활용을 위해 연구실 당 일주일 예약시간한도를 4시간 이내로 권장합니다.


* 예약 후 예고없는 취소는 장비이용자에게 피해를 줍니다. 필요한 예약만 진행해 주시길 바랍니다.

원리 및 특성

후방산란전자회절패턴분석기(Electron Backscatter Diffraction)는 주사전자현미경에 장착되어, 가속 전자가 시료에 주입되었을 때 반사되는 전자(후방산란전자)를 검출하여 재료의 방위(orientation)를 분석하는 장비입니다

규격

CMOS-based Electron Backscattered Diffraction detector
▪ High speed, low noise CMOS sensor customized for EBSD
▪ Image size: 1244 x 1024 pixels (max.)
▪ Digitisation: 12 bit (on-sensor)
▪ Digital image transfer from detector to PC via high-speed CoaXPress interface
▪ Optics: custom design fibre-optic coupling, high-efficiency, high-sharpness
▪ Distortion: < 1 pixel; each camera is tested in production by imaging precisely formed grid.
▪ Acquisition speed: 400pps (resolution 312 x 256 pixels)
▪ Screen format: rectangular; matches and uses full area of sensor
▪ Standard Screen phosphor: optimised for best performance across all applications
▪ Optional High Temperature Screen: optimised for in-situ heating experiments, where IR floods the EBSD pattern
▪ Effective operation at low beam current (100pA)
SOFTWARE
• Includes all the tools necessary t o collect and solve EBSD
patterns.
• Intelligent optimisation includes:
o AutoCal functionality for data collection at a complete
range of working distances and detector insertion
distances, without the need to recalibrate.
o AutoExposure to optimise exposure time
o AutoBackground, a dynamic background routine to
compensate for change in beam conditions or material
• The unique Tru I indexing and solver engine gives the very
best quality data ensuring high hit rates with no loss of data
integrity.
• Refined Accuracy mode for the highest angular accuracy
• A new TKD optimised mode, delivers the best performance
for TKD analysis
• The capability to use the band width to sort the most
accurate solution, when distinguishing between similar
crystal structures
• EBSD Maps Phase, IPF, Euler and Pattern Quality can be
collected and viewed in real time (with or without EDS)
• EBSD Point Analysis EBSPs and a solution can be collected
and saved manually or automatically. Saved solutions can
be used for misorientation analysis be tween 2points.
• EBSD Linescan and multiple linescan EBSD data can be
collected and viewed along a single or parallel lines
(vertical or horizontal). Misorientation profile can be created
along a line.
• Patterns can be stored in a range of formats including jpeg
and tiff and stored pattenrs can be interegated post
acquisition
• Reanalysis of stored data sets off line to optimise settings or
add missing phases
• Pole figures or Inverse pole figures can be generated in real
time
Others

적용(응용)분야

주사전자현미경의 부속장치인 EBSD는 후방산란전자의 회절패턴을 분석하여 시편 내 결정립의 방위를 분석하는 장치이다.
 재료의 미세조직을 이루는 결정립의 방위는 금속의 변형 후 재결정시 나타나는 집합조직의 분석, 박막에서의 에피 성장, 다결정체의 입계면의 특성분석 등에 필수적인 정보이다

사용료

표시되지 않은 시료전처리, 재료비 및 분석결과의 특별한 해석을 의뢰할 경우에 별도로 요금을 산정함

구분 항목 단위 교외교내가족회사(골드)가족회사(실버)가족회사(브론즈) 비고
분석의뢰
기기사용료 시간 100,00050,00030,00050,00070,000
직접사용
기기사용료 시간 100,00050,00030,00050,00070,000


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